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等離子清洗機V1000 1000X 1000XS雅馬拓

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  • 产品说明
型號V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極（獨立）平板（多目的）
反應(yīng)氣體聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配）約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

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